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全省首台12寸高纯碳化硅单晶生长炉顺利交付
近日，河北晶驰机电有限公司举行河北省首台（套）12寸电阻法高纯碳化硅晶体生长炉交付仪式，该系列产品是晶驰机电入驻正定后自主完成研发生产的高端装备，将服务于国际知名半导体行业领军企业，也标志着我县正式融入京津冀半导体产业协同体系。
晶驰机电携研发团队与采购方代表共同启动交付程序。这两台12寸碳化硅单晶生长炉采用先进AI算法和PVT工艺相结合，制备的高纯碳化硅单晶材料将用于AR眼镜光波导中。作为河北省首台（套）碳化硅晶体生长设备，其本地化生产验证了我县高端装备制造能力，进一步加速新质生产力孵化培育，带动我县半导体材料、精密加工等上下游产业链集聚，为京津冀协同发展提供新的实践样本。
晶驰机电自入驻正定以来，通过自主研发碳化硅单晶生长炉，不断迭代8至12英寸长晶工艺，将先进AI算法运用于PVT长晶过程中，创新地设计晶体生长温场与开发新的气相原料分布工艺，不断突破12英寸碳化硅晶体生长过程中温场不均、晶体开裂等核心问题，实现了技术跨越。
据了解，河北晶驰机电生产项目于2024年11月启动并正式运行，公司专注于碳化硅、金刚石、氮化铝、氧化镓等第三、四代半导体材料装备的研发、生产、销售和应用推广，致力于解决我国半导体设备技术卡脖子问题，提升国内先进材料制造能力，实现进口替代。（撰稿 景瑞 刘飞）